潍坊无尘车间室内的浮游微粒子浓度，利用高性能的过滤器便可轻易到达零程度，实际的临盆现场由于作业者、机器、周边机器的发尘及基板运送时所打仗的整机资料的发尘等，在制作品周边扬起了少量的微粒子，因此形成了元件清洁面的粒子污染。
潍坊无尘车间内该若何防止微粒子污染呢？应遵照如下四项基本原则：
一、不携入
在潍坊无尘车间内不携入微粒子的办法有：
1）作业员进入无尘室前，机台、整机携入前应停止清洁处置；
2）进入无尘室者在更衣室要穿戴不发尘、不产生静电的具特别导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
3）经由过程风淋室时利用高速清洁氛围撤除附在衣服外面的粒子后，能力进入无尘室。
4）机器及资料带进无尘室前，应尽量在密封状况下带进无尘室前室颐养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
5）潍坊无尘车间中须全程穿戴密闭式安全帽及佩带附有filter的排气用小型fan于腰间。
二、不产生
在节制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应节制第二大污染源—制作机台的发尘量。因物品在挪动时，所产生的磨擦及打仗剥离会形成发尘，而物品在挪动时也会有微粒子的产生。故为了节制发尘量到达最小限制应采用如下对策：
1）削减打仗剥离发尘的举措状态；
2）采纳磨耗发尘小的材质；
3）采纳发尘小的润滑油；
4）机台利用空压浮上的非打仗化事情道理。
三、不贮备
潍坊无尘车间若能完全实行“不携入”技巧，无尘室、潍坊无尘车间内的清洁度就能够保持。但实际中人和物品的频仍收支及制作机台的掣动，在广大的无尘室内要有完整清洁度是不可能的。是以“不贮备”技巧疾速地在过滤器中利用以撤除已产生的微粒子变得异常紧张。平日已产生的微粒子会根据重力及静电吸附力而停留在周边的物体外面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些积累微粒在氛围中再度扬起，增加了严重微粒子污染的危险性。
在最高等级的潍坊无尘车间中从天花板到高空，完整撤除微粒子的氛围须在0.3-0.4m/s的速率作垂直向下活动。这是在约10秒内将室内氛围和完整过滤氛围完整互换所计算出来的数值。同时，氛围的流向也必需要有准确的节制才行。分外要包管气流的流畅门路无阻畅通，由于在流畅门路中有障碍物的话，轻易产生氛围氛围涡流而构成氛围的滞留地区，使得邻近已产生的微粒子无奈疾速消除而长期漂泊在无尘室内，而一部分会附着在周边机器装备的外面而惹起污染。
节制气流可防止微粒子积累，但对付带电外面的微粒积累就无奈防止。
潍坊无尘车间内的浮游微粒子浓度，利用高性能的过滤器便可轻易到达零程度，实际的临盆现场由于作业者、机器、周边机器的发尘及基板运送时所打仗的整机资料的发尘等，在制作品周边扬起了少量的微粒子，因此形成了元件清洁面的粒子污染。
四、消除/撤除
在无奈防止大批微粒子产生的机台中，为了不让潍坊无尘车间内产生微粒子，是以间接做对外排气的举措，即所谓的部分排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会随同大批的动力耗费。以是无奈说是比拟抱负的对策。是以尽量地在压缩排宇量的同时，不仅仅是向清洁室外排气，而应采纳将撤除粒子后的氛围再回流到清洁车间内之对策。
